第588章 自主

周瑜刚好在和一个实验室的团队讨论技术。

“基于稳态微聚束原理，能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射光，波长可覆盖从太赫兹到极紫外波段，其中就包括了极深紫外线光刻机所需要的13.5纳米波长的EU...